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在无衍射光滤波法显微成像中,实际成像光斑的能量分布直接影响成像质量。用远小于光斑的小孔对成像光斑通过柔性铰链机构进行精确的二维扫描,然后再对光电探测器输出的微弱电流信号进行转换、放大、处理,就可得到实际微光斑的能量分布。该实验方法也可用于测量其他能量规则分布或不规则分布的微光斑。
无衍射微光斑能量分布测量系统的研究
【摘 要】
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在无衍射光滤波法显微成像中,实际成像光斑的能量分布直接影响成像质量。用远小于光斑的小孔对成像光斑通过柔性铰链机构进行精确的二维扫描,然后再对光电探测器输出的微弱电流信号进行转换、放大、处理,就可得到实际微光斑的能量分布。该实验方法也可用于测量其他能量规则分布或不规则分布的微光斑。
【机 构】
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华中科技大学机械科学与工程学院
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2007年02期
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