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介绍了一种用在Ｘ射线曝光中的微量调平机构，并对其关键零件柔性铰链的设计作了详细介绍。
用于X射线曝光的微调平机构
【摘 要】
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介绍了一种用在Ｘ射线曝光中的微量调平机构，并对其关键零件柔性铰链的设计作了详细介绍。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1998年3期
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