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碱性腐蚀工艺条件对硅片表面腐蚀形貌如粗糙度、显微镜下的表面状况的影响做了研究,通过实验结果给出了特定要求条件下硅片腐蚀的最佳方案。运用硅的化学腐蚀机理分析了表面腐蚀状况的原因。
碱性腐蚀工艺条件对硅片表面腐蚀形貌的影响
【摘 要】
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碱性腐蚀工艺条件对硅片表面腐蚀形貌如粗糙度、显微镜下的表面状况的影响做了研究,通过实验结果给出了特定要求条件下硅片腐蚀的最佳方案。运用硅的化学腐蚀机理分析了表面
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2011年3期
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