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工业硅试样经氢氟酸和硝酸分解，硫酸冒烟驱除硅氟等，在锑离子存在下，正磷酸，钼酸盐形成磷锑钼三元杂多蓝。于分光光度计６５０ｎｍ处测量吸光度。本法可采用弱还原剂如抗坏到于室温下迅速将磷锑钼黄还原成磷锑钼蓝，给分析操作带来了方便。本法加料回收率在９８．３％￣１０２％之间，用本法测工业硅中的磷与用ＪＩＳＧ１３２２＝１９７７法所测结果吻合，但本法简便，快速。