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为满足类似饮料、果汁、啤酒及熟制即食食品的保鲜、保质需求,制备对O2,CO2和水蒸汽等有高阻隔性的包装材料,采用靶材Zn与Al质量比为1:19,在普通PET薄膜表面制备具有高阻隔性能的包装薄膜。通过XRO衍射,对薄膜的结构和形貌进行了表征。采用透氧测湿测试仪器对不同工艺参数进行研究分析,结果表明,制备的AZO薄膜晶体结构择优取向性好、结晶度高,ZnO的离化式C轴方向拉伸力会引起衍射峰呈C轴择优取向,在适宜的工艺条件下,可制备得高阻隔性的包装薄膜。