半导体气敏元件的新进展

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(一)引言 七十年代以来,半导体气敏元件获得了引人注目的新进展。有些产品已从研制阶段跨入了大量生产的阶段。例如日本()技研公司生产的SnO_2烧结型TGS气敏元件,年产量已超过100万只,累计产量已超过1000万只,寿命已超过10年,其它气敏元件、湿敏元件的新品种也在不断出现。引起这种蓬勃发展现象 (A) Introduction Seventies, semiconductor gas sensors have received remarkable new progress. Some products have entered the mass production stage from the development stage. For example, Japan () Technology research company produces SnO_2 sintered TGS gas sensor, the annual output has more than 1 million, the cumulative output has more than 10 million, life expectancy has more than 10 years, other gas sensors, humidity sensor new varieties Constantly appear. Cause this booming phenomenon
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