【摘 要】
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在实际制造相应的微电子机械系统器件的过程中,一般情况下需要对其进行高温薄膜积淀或者是生长处理,所以在薄膜当中存在的残余力特性会在大多数情况下对器件具体的结构特性产
【机 构】
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山东省实验中学,山东 济南,250031
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在实际制造相应的微电子机械系统器件的过程中,一般情况下需要对其进行高温薄膜积淀或者是生长处理,所以在薄膜当中存在的残余力特性会在大多数情况下对器件具体的结构特性产生一定的影响,严重的甚至会对整个器件实际的性能产生直接的影响.本文结合以往的实际案例将薄膜残余应力对于整个微电子机械系统的具体影响进行了系统的分析,并介绍了残余应力的主要起源以及实际的控制工作.
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