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本文论述了一种用于超高分辨率精密检测技术的激光扫描力显微镜(SFM)。它是以一钨丝微探针作为力传感器,用双焦干涉仪作为光探针来检测样品扫描时微探针受力产生的偏摆。微探针以谐频振动,当样品与探针距离变化引起力梯度改变,谐频变化则振幅也随之变化。该振幅变化可由干涉光探针接收。光探针是一准共路干涉系统,可有效地抑制光程差的波动。而微探针采用谐振增强方式工作,来非接触地测试振幅变化进而得出样品表面微观轮廓。与接触模式工作的原子力显微镜相比扩大了测量范围。电子处理共模抑制系统可有效地抑制光强波动和降低系统电子噪声。