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从固态微波应用中的潜在优势出发,对RF MEMS的发展概况及前景作出评论.
射频微机电系统的军用潜力、开发现状及发展战略研究
【摘 要】
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从固态微波应用中的潜在优势出发,对RF MEMS的发展概况及前景作出评论.
【机 构】
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电子第55研究所
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2003年6期
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