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在惯性约束聚变研究中，RF空心泡沫微球具有低原子序数（Z）、低密度（ρ）可以降低辐射驱动内爆过程中燃料预热及流体力学不稳定性、提高实验增益，并且由于光学透明性便于实验过程的诊断，成为以后直接驱动点火的首选靶材料。综述了几种制备方法的基本原理、成球过程控制、在惯性约束聚变制靶中的地位及RF空心微球的国内外发展现状及研究进展。