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光学表面光散射 II:实验技术
光学表面光散射 II:实验技术
来源 :计量学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qdjmyuzhou
【摘 要】
:
发展了两种典型的测量光从有一定粗糙度的光学表面散射后的空间光强分布的装置,探讨了它们的优点和局限性,并研究了这两种系统的横向和纵向分辨率。结果表明,利用步进电机的
【作 者】
:
王海明
【机 构】
:
应用光学国家重点实验室长春市1024信箱130022
【出 处】
:
计量学报
【发表日期】
:
1992年4期
【关键词】
:
光散射
测量
表面粗糙度
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发展了两种典型的测量光从有一定粗糙度的光学表面散射后的空间光强分布的装置,探讨了它们的优点和局限性,并研究了这两种系统的横向和纵向分辨率。结果表明,利用步进电机的扫描测量系统适用于在实验室中作高精度的表面粗糙度测量,而利用CCD阵列的测量系统适用于在光学制造中的在线检测。
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