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应用有限元法对采用有机聚合物PMMA的M-Z型热光开关进行了分析,重点考察了器件的的功耗和速度,计算结果表明此类结构的光开关的功耗可低至3.6mW,比硅材料的SOI热光开关的功耗低两个数量级,这对于大规模的的集成非常有利,同时开关的上升和下降时间可达到14ms和16ms.
采用PMMA的M-Z型热光开关性能的有限元分析
【摘 要】
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应用有限元法对采用有机聚合物PMMA的M-Z型热光开关进行了分析,重点考察了器件的的功耗和速度,计算结果表明此类结构的光开关的功耗可低至3.6mW,比硅材料的SOI热光开关的功耗
【机 构】
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华中师范大学物理科学技术学院
【出 处】
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华中师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2007年02期
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