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薄膜MCM工艺是一种新兴的芯片安装工艺,它具有提高系统速度、降低系统体积及成本等优点.本文着重叙述了硅基薄膜MCM工艺的工艺流程、工艺要点及工艺中通常应该注意的一些问题.
硅基薄膜MCM工艺
【摘 要】
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薄膜MCM工艺是一种新兴的芯片安装工艺,它具有提高系统速度、降低系统体积及成本等优点.本文着重叙述了硅基薄膜MCM工艺的工艺流程、工艺要点及工艺中通常应该注意的一些问题
【机 构】
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东北微电子研究所
【出 处】
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微处理机
【发表日期】
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2002年3期
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