【摘 要】
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本实验用物理气象沉积法（PVD）于蓝宝石衬底上镀氮化铝薄膜,取代传统MOCVD法生长的低温氮化镓缓冲层。随氮化铝越厚n值也越大,wafer受到的压缩应力越大。从XRD得知,氮化铝薄膜越
【机 构】
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本实验用物理气象沉积法（PVD）于蓝宝石衬底上镀氮化铝薄膜,取代传统MOCVD法生长的低温氮化镓缓冲层。随氮化铝越厚n值也越大,wafer受到的压缩应力越大。从XRD得知,氮化铝薄膜越薄（102）半高宽明显越小且（002）半高宽间变得比较大,因为（002）面产生的缺陷决定于材料间晶格的差异,则（102）半高宽的变化来自于结构的应力释放,薄的氮化铝薄膜就可有效释放当中的应力。最后用氮化铝缓冲层量之亮度比低温氮化镓缓冲层会增加1%,亮度30.5mW。
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