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研究了应用于微型全固态薄膜锂离子电池的正极材料钴酸锂LiCoO_2薄膜材料,采用磁控溅射法来制备,对其进行400℃退火处理后,进行XRD分析和SEM分析,表明在低气压条件下制备的薄膜呈非晶态,经过退火后,形成了排列致密的晶体结构,薄膜沿(003)晶面平行于基底择优生长;循环伏安测试和恒电流充放电测试表明,未经过退火处理的LiCoO_2薄膜不具有锂离子嵌入/脱出的可逆性,而经过退火处理的LiCoO_2薄膜从第二圈开始具有较好的可逆性。制备的LiCoO_2薄膜结晶状态优良、质地紧密、与衬底薄膜紧密接触、