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本文描述了一个提取MOS场效应晶体管和双极型晶体管直流模型参数的程序。所采用的算法是Meger和Roth方法,它具有较好的收敛性。在目标函数中引入惩罚项,有效地防止了模型参数非物理解的出现。将双极型晶体管直流模型参数分组后优化提取,减少了计算量。应用本程序进行了大量实际器件参数的提取,获得了较满意的结果。