【摘 要】
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在软紫外光压印光刻中,提出以光刻胶为母版材料翻制聚二甲基硅氧烷软模具的工艺方法,并把图型母版材料对软模具制造过程的影响进行了实验研究.研究表明,软模具图型质量仅和浇
【机 构】
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西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
【基金项目】
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基金项目：国家自然科学基金资助项目（50505037）,国家高技术研究发展计划资助项目（2006AA042322,2006AA052411）,国家重点基础研究发展计划资助项目（2003CB716203）,陕西省自然科学基金资助项目（2006E109）,西安-应用材料创新基金资助项目（XA-AM-200505,XA-AM-2006609）.
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在软紫外光压印光刻中,提出以光刻胶为母版材料翻制聚二甲基硅氧烷软模具的工艺方法,并把图型母版材料对软模具制造过程的影响进行了实验研究.研究表明,软模具图型质量仅和浇铸过程的充型压力有关,在0.05 Pa的真空压力下充型,光刻胶母版图型强度足够抵抗充型压力,所翻制的软模具复型精度为（97.24±0.60）%,复型精度方差为0.376%,在翻制软模具50次后,光刻胶母版图型无明显扭曲变形和缺损、污物.因此,采用光刻胶作为母版图型材料,不仅可以满足工艺精度的要求,而且可以提高生产率、降低生产成本.
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