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据报道，NEC公司已研制O．13Urn的Sic。腐蚀技术。以前，随着微细化进展，腐蚀速度下降，存在效力下降的问题。例如，腐蚀孔的速度，在孔径0．25Pm时约为0．4Urn／ban，而孔径O．13pm时，下降为O．ZI。m／ndn。现在，这个问题已解决，0．13Pm的腐蚀速度与O．万卢m尺寸的腐蚀速度相同。另外，可省去了以前使用于腐蚀气体的PFC。具体来讲，把腐蚀气体从CJ。变换成CFJ和CI4ONEC公司研制成0.13μm腐蚀技术@一凡