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期刊论文
GaAs表面硫钝化研究新进展
GaAs表面硫钝化研究新进展
来源 :物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:flyingflying
【摘 要】
:
GaAs及其他Ⅲ-Ⅴ族半导体表面钝化一直是人们 感兴趣的研究课题,在半导体器件制造工艺的发展中起着重要的作用,文章着重从钝化方法 和钝化机理两方面简单地回顾了近年来GaAs表
【作 者】
:
谢长坤
徐法强
徐彭寿
【机 构】
:
中国科学技术大学国家同步辐射实验室 合肥 230029
【出 处】
:
物理
【发表日期】
:
2000年11期
【关键词】
:
GaAs
钝化
表面复合
光致发光
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GaAs及其他Ⅲ-Ⅴ族半导体表面钝化一直是人们 感兴趣的研究课题,在半导体器件制造工艺的发展中起着重要的作用,文章着重从钝化方法 和钝化机理两方面简单地回顾了近年来GaAs表面硫钝化的最新研究进展.
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