磁场中真空电弧液滴喷溅分析

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分析了在外加磁场作用下,真空电弧镀膜中阴极靶面液池的受力情况,导出了液滴喷溅特性受磁场影响的关系式。结果表明,纵向磁场将使喷溅方向发生偏转,形成一发射角,液池所在位置不同发射角也不同。一维横向磁场将使液池发生偏心喷溅,加剧了液滴的发射;二维横向磁场则可减轻液池的喷溅。 Under the action of applied magnetic field, the force of cathode target pool in vacuum arc coating was analyzed, and the relationship between droplet splashing characteristics and magnetic field was derived. The results show that the longitudinal magnetic field will deflect the sputtering direction to form a launch angle, and the launching angle of the pool at different positions is also different. A one-dimensional transverse magnetic field will make the liquid pool eccentrically splash, exacerbating the droplet launch; two-dimensional transverse magnetic field can reduce liquid pool splashing.
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