论文部分内容阅读
光致弯曲薄膜材料在微机电系统中有着巨大的应用前景，而材料基本物理参数的测试是重要的基础性工作。鉴于现有的薄膜材料拉伸测试机不能满足微尺度条件下的测试需要或者较为昂贵，设计出一种薄膜材料拉伸测试系统，能够精确均匀加载，并运用LabVIEW编程设计出拉伸测试虚拟仪器，实现数据采集、分析、处理和存储，以及控制信号输出。该系统具有分辨率高的优点，位移分辨率和力分辨率分别可达1μm和1mN，满足了微小尺度薄膜试验的需要。