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无线通信技术的发展对系统小型化提出了要求,用IC技术制造的电路无源器件的性能无法满足要求,利用MEMS技术不仅能将器件小型化,与电路集成实现单片化,并且器件性能也能达到要求.近年来,用MEMS技术制作电容、电感、开关以及谐振器等无源器件成为MEMS的又一个新的研究领域.文章简单介绍了无线通信领域MEMS器件的研究进展.