无线通信领域MEMS器件的研究进展

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:simyhu
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
无线通信技术的发展对系统小型化提出了要求,用IC技术制造的电路无源器件的性能无法满足要求,利用MEMS技术不仅能将器件小型化,与电路集成实现单片化,并且器件性能也能达到要求.近年来,用MEMS技术制作电容、电感、开关以及谐振器等无源器件成为MEMS的又一个新的研究领域.文章简单介绍了无线通信领域MEMS器件的研究进展.
其他文献
分析了目前库区移民致富面临的政策机遇和挑战,以投资建设农产业项目形式为合作平台,初步探索出库区移民“万元增收”致富模式,即以建设产业项目形式帮扶移民;强化组织领导,建设农
健康管理就是变人类被动管理为主动管理,并帮助人们科学地恢复健康、维护建康、促进健康。"不治已病治未病",强调人与自然息息相关。
机关门诊部是一个窗口单位,集中展现了医务人员的服务质量和精神面貌,而护理工作又是其中重要的组成部分,它直接影响了医疗质量和患者安危,这就对机关门诊部的护理工作提出了
目的观察不同抗凝方案治疗急性冠状动脉综合征(ACS)的疗效和安全性。方法将65例病例随机分为治疗组33例和对照组32例,治疗组采用低分子量肝素(LMWH)5000IU每12h皮下注射1次;对照
目的探讨治疗直肠癌的不同手术方式及其临床疗效。方法将2005年6月~2009年6月笔者所在医院收治的60例低位直肠癌患者随机分为观察组和对照组,每组各30例,观察组采用保肛手术治
应用PSPICE及采用C语言自编的外部程序,对单片数字锁相环中衬底噪声耦合及衬底噪声对电路性能的影响进行了模拟和分析,有助于进一步理解衬底噪声以及衬底噪声对复杂的混合信
足球机器人是人工智能与机器人技术发展至一定程度的产物,它为基于分布式人工智能理论的多智能体系统协作问题提供了研究平台.足球机器人系统可分为四大模块:小车子系统、通
提出《蚕桑萃编》是关于栽桑养蚕的科普读物,其内容详尽、语言通俗、图文并茂,也是关于桑蚕文化的汇编,是我国近代北方桑蚕知识大全,其内容、思想对于今天桑蚕业的发展仍有很
采用多节平调阻抗变换器技术制作5~10GHz15WGaAsMESFET功率放大器。阻抗变换器的长度设计为最高频率的1/4波长,实现宽频带内稳定的增益和输出功率。采用这种阻抗变换器,放大器在5
随着社会经济的发展和人们保健意识的增强,长寿老人越来越多,眼科接受手术的高龄老年患者也相应增加。高龄老年患者的身体健康状况普遍较差,加上多伴有合并症,手术风险也进一