【摘 要】
：
本文分析了一种新颖的用于超光滑表面粗糙度测量的系统。该系统的关键之处是利用一个双折射石英透镜作分光镜,以散焦光束在被测表面上所对应的光斑区域内的平均轮廓高度作基
论文部分内容阅读
本文分析了一种新颖的用于超光滑表面粗糙度测量的系统。该系统的关键之处是利用一个双折射石英透镜作分光镜,以散焦光束在被测表面上所对应的光斑区域内的平均轮廓高度作基准。这种测量系统对被测表面高度变化的灵敏度好于0.1nm,水平方向具有1μm的分辨率。本文还将该仪器与机械触针式轮廓仪的测量结果进行了比较。
This article analyzes a novel system for measuring ultra-smooth surface roughness. The key point of this system is to use a birefringent quartz lens as a spectroscope to benchmark the average profile height of the defocused beam in the spot area corresponding to the surface to be measured. The sensitivity of this measuring system to changes in the height of the measured surface is better than 0.1 nm with a 1 μm resolution in the horizontal direction. This article also compares the measurement of the instrument with a mechanical stylus profiler.
其他文献
"校本学习"是以学校为本,以学校为基本单位的学习,其目的在于推动整个学校的发展,并提高学校的学习能力,是属于在"个体学习"、"团队学习"基础上的"组织层学习"。"校本学习"的
文章强调设备润滑管理是设备全过程管理的重要组成部分。设备润滑管理的目的是延长设备使用寿命,充分发挥设备效能。提出搞好设备润滑管理必须组织机构落实、配备相应的管理
脑科学的发展使人们对脑功能及其发展有了深入了解。神经科学和教育研究证据提示神经科学对早期教育实践有促进作用,然而,在脑科学研究成果应用于早期教育的过程中也出现了一
自16世纪起,英国步入向现代社会转型的关键时期,在贸易立国思想影响下,商业成为社会经济的核心,商人也从社会的边缘走向中心位置。但总体上看,商人的教育还没有得到社会足够
十八大以来,我国经济发展进入到一个新阶段、开创了新局面。在国内,2014年5月,习近平总书记在考察河南时首次提出了"新常态"的概念,后为人们广泛了解并认可。经济发展新时期
社会经济在不断发展,在发展的同时,我国的水利行业也在不断进步,而在水利工程中,混凝土是最不可缺少的一部分材料。当前,混凝土施工技术与浇筑养护也受到了社会各界的关注,良
在石油测井领域,如何安全可靠的获取井中和井筒环境参数,对提高油气资源勘探和开发效率具有重要意义。光纤光栅传感器由于自身具有一些特殊的优点,能够承受井下极端的条件,因
介绍了VxWorks作为嵌入式实时操作系统具有的功能和特点。分析了VxWorks的任务调度管理机制,如何创建、管理任务、任务状态的切换、任务的优先级等。分析了VxWorks的任务间通
第三代数显卡尺使用一粒1.5V氧化银电池,该卡尺具有测量精度高、移动速度大(1.5m/s)、功能多、耗电省等特点,目前国内各厂家生产的数显卡尺基本上是这种类型。我厂在生产数显卡尺时,对其测量原理进
民间文学与儿童文学的关系是一个经典性的问题，但许多研究和认识大都限于两者之间的表象，并没有发掘它们之间内在的本质的深层的关系。本文通过对民间文学与儿童文学在形成之初