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介绍了一种直线位移传感器校准装置。该系统以自行研制开发的高准确度单频激光干涉仪为长度标准,通过可编程位移发生装置的配套使用实现了直线位移传感器的校准。
位移传感器校准技术研究
【摘 要】
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介绍了一种直线位移传感器校准装置。该系统以自行研制开发的高准确度单频激光干涉仪为长度标准,通过可编程位移发生装置的配套使用实现了直线位移传感器的校准。
【机 构】
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中航工业北京长城计量测试技术研究所,中国人民解放军61699部队计量站
【出 处】
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计测技术
【发表日期】
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2011年6期
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