【摘 要】
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简单介绍了不锈钢材料表面的几种加工工艺的优缺点,介绍了化学机械抛光(CMP)工艺的机理。介绍了抛光液的各成分及其作用机理,同时列举了一些常用的药品种类。针对不锈钢材料,
【机 构】
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广东工业大学,河源广工大协同创新研究院
【基金项目】
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广东省科技计划:河源市优势产业标准信息服务共享平台研究(2015A040405007);广东省科技计划:瓷砖超高压水切割和拼图机器人系统的研发与应用(2015B090922003);国家火炬计划项目:阳泉市科技型中小企业创新资源共享服务平台(2015GH511343)
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简单介绍了不锈钢材料表面的几种加工工艺的优缺点,介绍了化学机械抛光(CMP)工艺的机理。介绍了抛光液的各成分及其作用机理,同时列举了一些常用的药品种类。针对不锈钢材料,通过理论分析或者实验对比,合理选择各个成分的药品种类,确定了二氧化硅、柠檬酸、过氧化氢、烷基酚聚氧乙烯醚和苯并三氮唑作为抛光液的主要成分。通过正交实验的方法确定了每个成分的最佳含量。最后采用优化后的CMP抛光液进行不锈钢的CMP实验,并对比不锈钢抛光前后表面质量验证抛光液的有效性。
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