【摘 要】
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真空镀膜技术是气相物理沉积方法,是指在真空条件下,将镀膜材料沉积在基体表面形成固体薄膜。本文分析了近年来已公开的真空镀膜的发明专利申请,对上述专利申请进行了技术分
【机 构】
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真空镀膜技术是气相物理沉积方法,是指在真空条件下,将镀膜材料沉积在基体表面形成固体薄膜。本文分析了近年来已公开的真空镀膜的发明专利申请,对上述专利申请进行了技术分类,并对专利申请进行了技术分类,介绍了近年来真空镀膜行业内,为了满足用户对涂层和薄膜高性能化、功能化要求,应运而生的真空镀膜系统结构和真空镀膜方法及其控制原理、应用及优点。
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