模具材料的选用与使用寿命

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应力作用下介质的介电常数会由于介电电致伸缩效应发生变化。热氧化SiO2作为介质,广泛用于MEMS和集成电路中,在应力作用下其介电特性的改变将直接影响相关电容器件的性能。本文针对目前没有介电电致伸缩系数的理论计算公式,对热氧化SiO2中的介电电致伸缩效应实验研究不深入的现状,从理论和实验两方面研究了热氧化SiO2介质材料中的介电电致伸缩效应。主要内容如下:  ⑴从电动力学出发,利用介电常数变化和应力
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