【摘 要】
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以紫铜为基体,在紫铜上先采用磁控溅射技术镀一层金属钛,再以 H2 和 CH4 作为反应气体,采用热丝化学气相沉积法（ HFCVD） 在钛过渡层上合成金刚石薄膜,研究不同钛过渡层厚度对金
【机 构】
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广州有色金属研究院,华南理工大学材料科学与工程学院
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以紫铜为基体,在紫铜上先采用磁控溅射技术镀一层金属钛,再以 H2 和 CH4 作为反应气体,采用热丝化学气相沉积法（ HFCVD） 在钛过渡层上合成金刚石薄膜,研究不同钛过渡层厚度对金刚石薄膜质量的影响。 利用 X 射线（ XRD） 、激光拉曼光谱（ Raman） 、扫描电镜（ SEM） 分析薄膜的结构、成分和表面形貌,用能谱仪（ EDS） 对热处理前后样品的表面进行了元素分析。 研究发现,当钛过渡层厚度为 3 μm 时,生成的金刚石薄膜受到较大内应力而发生破裂;当钛过渡层厚度为 25 μm 时,金刚石薄
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