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使用超精平面磨床和甚细粒度杯形金刚石砂轮，对Si3N4和Al2O3－TiC陶瓷及Mn－Zn铁氧体进行了高精平面磨削，使用的最大切深为2μm，且最大进给量自始至终为100mm／min。使用原子力显微镜，测量了表面粗糙度和脆性方式面积的百分数。这些特性用定义为Smax＝μaVf／Vs的参数“Smax”进行了讨论。随着粒度大小由#1200降至#16000，表面粗糙度降至Rmax＝20～30nm。与此相类似．改变粒度大小，脆性方式面积的百分数显著减小。使用30砂轮表面形貌测量，也调查研究了修整器对磨后表面的影响