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分析了物理气相沉积(PVD)技术制备的类金刚石膜和掺杂金属的类金刚石膜的性能,并介绍了类金刚石膜在模具上的应用情况.
类金刚石膜的性能及其在模具上的应用
【摘 要】
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分析了物理气相沉积(PVD)技术制备的类金刚石膜和掺杂金属的类金刚石膜的性能,并介绍了类金刚石膜在模具上的应用情况.
【机 构】
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广州有色金属研究院
【出 处】
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模具制造
【发表日期】
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2005年9期
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