【摘 要】
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本文从高纯多晶硅还原炉从工艺流程、化学气相沉积反应过程等方面,从硅棒表面温度、炉内洁净度和炉壁温度、炉内压力、原料进料量和进气温度等方面分析对还原炉能耗的影响,还
【机 构】
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青海黄河水电新能源分公司 青海西宁 810007
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本文从高纯多晶硅还原炉从工艺流程、化学气相沉积反应过程等方面,从硅棒表面温度、炉内洁净度和炉壁温度、炉内压力、原料进料量和进气温度等方面分析对还原炉能耗的影响,还原炉内的SiHCl3和H2发生化学反应的过程很复杂,呈现温度敏感、电耗波动、进料量波动的特点,从而对制定还原炉沉积过程中控制能耗的有效措施提供了科学的依据.
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