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用透射电子显微镜与能谱技术对离子辅助沉积的ＭｏＳ２－Ｔａ膜的形态，结构，组成以及元素的化学态等进行了观察和分析。发现膜在沉积过程中已产生部分晶化，膜体出现衬底鲜明的白色”团簇”点缀的两相特殊形态。ＴＥＭ与ＸＰＳ分析确定白鬼“团簇”属析出的第二相ＴａＳ２。两区都具有（００２），（１００）和（１１０）取向，面间距与晶格常数都比ＭｏＳ２单晶增大，“白区”的参数又比膜基本略大。