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采用SnCl4*5H2O为起始原料，无水乙醇为溶剂，SbCl3为掺杂剂，采用溶胶-凝胶法在玻璃基板上成功制得了SnO2薄膜，并通过XRD、SEM及薄膜光学、电性能测定等分析手段对薄膜进行了评价.
Sol-Gel法制备SnO2透明导电薄膜
【摘 要】
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采用SnCl4*5H2O为起始原料，无水乙醇为溶剂，SbCl3为掺杂剂，采用溶胶-凝胶法在玻璃基板上成功制得了SnO2薄膜，并通过XRD、SEM及薄膜光学、电性能测定等分析手段对薄膜进行了评价.
【机 构】
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（西北轻工业学院材料工程系,（西北轻工业学院化学工程系
【出 处】
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西北轻工业学院学报
【发表日期】
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2000年4期
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