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300 mm晶圆生产线必须采用新标准、新技术、新流程、新设备、新布局、新厂房和新设施等.因此,300mm晶圆向半导体设备提出了挑战.
300mm晶圆对半导体设备的挑战
【摘 要】
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300 mm晶圆生产线必须采用新标准、新技术、新流程、新设备、新布局、新厂房和新设施等.因此,300mm晶圆向半导体设备提出了挑战.
【机 构】
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无锡市罗特电子有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2003年2期
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