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针对传统采样器气体流量采用开环控制，随着抽气泵负载的增加引起气体流量的下降，导致采样气体体积误差偏大的问题，提出了闭环流量控制的气体采样器，并对其进行了研究。利用微型气体质量流量传感器、可调微型气泵及控制器组成了闭环控制系统，并结合带死区的增量PID控制算法和积分累积气体采样的方式，消除了采样流量由于负载的变化而引起的误差。最后通过实验证明了闭环控制的采样器气体流量具有较好的线性度及较高的精度。