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利用RGA100质谱仪成功地实现了对SiH4辉光放电等离子体的在线检测。根据线性拟合的方法获得了SiH4消耗率及中性基团SiH4（n=1，2，3）在空间的分布规律，并对此进行了详细的分析和讨论。
SiH4辉光放电等离子体中中性基团的轴向分布
【摘 要】
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利用RGA100质谱仪成功地实现了对SiH4辉光放电等离子体的在线检测。根据线性拟合的方法获得了SiH4消耗率及中性基团SiH4（n=1，2，3）在空间的分布规律，并对此进行了详细的分析和讨论
【机 构】
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安庆师范学院物理与电气工程学院
【出 处】
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安庆师范学院学报：自然科学版
【发表日期】
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2013年2期
【基金项目】
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安庆师范学院青年科研基金资助项目（044-K10025000031）资助.
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