【摘 要】
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根据微机电系统（MEMS）封装中常用的阳极键合技术的特点,采用机械合金化法制备了高分子固体电解质,用作新的阳极键合材料。采用傅里叶红外光谱（FTIR）、X射线衍射（XRD）和同步辐射小角
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（51275332）, 山西省研究生优秀创新项目（20123104）, 山西省大学生创新训练计划资助项目（2013240）
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根据微机电系统（MEMS）封装中常用的阳极键合技术的特点,采用机械合金化法制备了高分子固体电解质,用作新的阳极键合材料。采用傅里叶红外光谱（FTIR）、X射线衍射（XRD）和同步辐射小角X射线技术（SAXS）等手段研究了锂盐加入量对络合成的阳极键合用聚氧乙烯（PEO）LiX的导电性能的影响,进而探讨了高分子固体电解质作为新型封装材料在阳极键合应用中的可行性。结果表明：相对于LiPF6,络合LiClO4更容易增加锂离子的迁移数,能更有效地阻碍高分子固体电解质的结晶,使得无定形区的含量增加;对于制备出的阳极键
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