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超大规模集成电路的重要支撑材料——超净高纯试剂
超大规模集成电路的重要支撑材料——超净高纯试剂
来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhml0726
【摘 要】
:
<正>1国内外超净高纯试剂技术发展现状超净高纯试剂(Ultra-clean and High-purity Reagents)在国际上通称为工艺化学品(Process Chemicals),美、欧和中国台湾地区又称湿化学
【作 者】
:
沈哲瑜
【机 构】
:
上海化学试剂研究所
【出 处】
:
中国集成电路
【发表日期】
:
2008年03期
【关键词】
:
高纯试剂
产业化
大规模集成电路
微电子化学品
支撑材料
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<正>1国内外超净高纯试剂技术发展现状超净高纯试剂(Ultra-clean and High-purity Reagents)在国际上通称为工艺化学品(Process Chemicals),美、欧和中国台湾地区又称湿化学品
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