论文部分内容阅读
为了提高SiC单晶片的加工效率,降低表面粗糙度,通过实验对比研究了普通研磨与超声波辅助研磨两种研磨工艺。实验表明,超声波辅助研磨SiC单晶片材料去除率是普通研磨的两倍,表面粗糙度值也有显著降低。本文同时分析了材料去除率提高与表面粗糙度值降低的原因。
超声研磨SiC单晶材料去除率与表面特征研究
【摘 要】
：
为了提高SiC单晶片的加工效率,降低表面粗糙度,通过实验对比研究了普通研磨与超声波辅助研磨两种研磨工艺。实验表明,超声波辅助研磨SiC单晶片材料去除率是普通研磨的两倍,表
【机 构】
：
西安理工大学机械与精密仪器工程学院,西安工业大学机电工程学院
【出 处】
：
人工晶体学报
【发表日期】
：
2011年2期
其他文献
为了研究流固耦合声子晶体的特性,本文应用有限元方法进行数值模拟并通过实验进行了验证。以二维钢柱/水正方晶格声子晶体为研究对象,利用ABAQUS有限元软件计算得到了完好周
目的根据住院泌尿道感染患者病原菌的构成特点和耐药性,对使用抗菌药物情况进行分析,以促进抗菌药物的合理使用。方法对某医院2014年3月~2015年2月病房住院泌尿道感染患者的
基于向量自回归（VAR）模型,对1994—2014年中国农业综合开发产业化项目中财政补助资金、银行贷款和自筹资金与农民人均纯收入的动态关系进行分析,研究各项资金与农民人均纯收入
采用半自洽场（semi-SCF）d轨道模型和点电荷模型，建立起了过渡金属离子晶体局域结构、吸收光谱与EPR谱之间的定量关系，应用高阶微扰的方法，引入平均共价因子N，统一的解释了ENST晶体
中国是一个水资源相对短缺的国家,提高水资源利用效率是未来中国农业发展所必须面临的挑战。从智慧农业视角论述了智慧灌溉系统需要解决的问题;从共享经济视角,结合农业社会
目的将监控技术和嵌入式技术相结合,实现可移动的无线远程视频监控系统。方法在基于ARM9和linux2.6内核的嵌入式系统平台上控制摄像头采集视频、电机驱动电路以及无线网卡,并
应力波反射法在对工程桩的质量评价中起到重要的指导作用。本文针对反射波法检测桩身完整性的应用效果，通过对洛阳某工程人工挖孔灌注桩检测结果的分析，总结了这种方法的有效性
我国目前基本的养老模式为“9073”,即绝大多数的老年人以家庭养老为主导,但近些年我国家庭在解决养老问题上所能发挥的作用日渐消逝,这使得越来越多的人们开始关注这个上世