论文部分内容阅读
在大型薄膜生产设备中，膜厚的横向均匀性是一项重要指标。本文提出用Ｍｏｎｔｅ－Ｃａｒｌｏ方法模拟大型磁控溅射器膜厚横向分布的计算方法，计算了靶的几何结构及各种溅射参数对膜厚横向分布的影响，并把计算结果与实际测量进行了比较。
用MonteCarlo法模拟大型磁控溅射器的膜厚分布
【摘 要】
：
在大型薄膜生产设备中，膜厚的横向均匀性是一项重要指标。本文提出用Ｍｏｎｔｅ－Ｃａｒｌｏ方法模拟大型磁控溅射器膜厚横向分布的计算方法，计算了靶的几何结构及各种溅射参数对膜厚横向分布的影响，并
【机 构】
：
烟台大学物理系
【出 处】
：
真空电子技术
【发表日期】
：
1999年5期
其他文献
本文研究了音叉型石英晶体谐振器的谐振阻抗与周围气压的关系，设计了一种全新的自隐幅自跟踪晶体振荡电路和精密动态阻抗测试电路，以测量石英晶振的谐振阻抗。实验测得，当晶振周
本文讨论了电子光学系统计算机辅助设计中涉及电场强度的三维数值计算问题，给出了一套数值计算公式．同时编程计算特定电位分布下的电场强度，结果表明，此方法的精度较高，符合实际需
ＮｉＴｉ合金表面涂覆Ｃ型聚对二甲苯膜将大大改善形状记忆特性材料的生物相容性。本文采用等离子体方法改善材料表面特性，并运用俄歇电子能谱（ＡＥＳ）和扫描电子显微镜（ＳＥＭ）进行了材料的界面和表面分
陈述了木工机械在人类历史上的形成过程，提出了广义木工机械的范畴及分类方法；简述了我国木工机械发展的现状，尤其是锯床、刨床、铣床（含数控镂铣设备）等典型木工机床及人造板机械
介绍了穿孔机传统定心辊的结构及存在的问题,两种新式定心辊的结构及动作原理.实践证明,采用新型定心辊精度高,使用寿命长,维护方便,调车简便,备件消耗低.
在分析了无源矩阵驱动的局限性的基础上，叙述和比较了ＭＩＭ薄膜二极管和ａ－Ｓｉ薄膜晶体管有源矩阵液晶显示的结构、工作原理和特性，并讨论了它们的进展与发展方向。
本文提出彩色等离子体显示板的两个新参数－绝对光电串据和相对光串的扰，确定其定义，并制定测试方法，着重讨论了相对光串扰与驱动电压，放电电极间距，电极宽度之间的关系，同时对用障壁
介绍一种新的陶瓷成型技术－－凝胶注模成型，它是在陶瓷浆料中加入有机单体浇铸后，在一定的条件下，有机单体发生原位聚合反应，使陶瓷浆料凝固而形成所铸零件。它可用于单相及复合陶瓷
结合生产实践，介绍了国内焊管用超声波探伤仪存在的主要问题和国外同类仪器的特点，找出了国内焊管用超声波探伤仪的差距并提出了改进措施。
ＬＥＤ光柱多位模拟量脉冲计数显示器张伯文在生产真空产品的工厂中，产品的计数显示是经常发生的。本文根据实验所制造的ＬＥＤ光柱多位模拟量脉冲计数器，并属于线显示的一种方式。具体线路