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采用国产倍频电路，研制出分辨力为１μｍ的工业用光栅尺，具有实际应用价值。
实现高分辨率精密测量的一种有效途径
【摘 要】
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采用国产倍频电路，研制出分辨力为１μｍ的工业用光栅尺，具有实际应用价值。
【出 处】
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沈阳工业大学学报
【发表日期】
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1994年2期
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