【摘 要】
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基于高性能的微电子机械系统（MEMS）工频电场传感器系统开展了高压架空输电线下电场测量应用研究。为了获得电场分布规律,基于模拟电荷法,建立了输电导线的二维电场计算通用模型
【机 构】
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云南电网有限责任公司电力科学研究院,中国科学院电子学研究所传感器技术国家重点实验室
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基于高性能的微电子机械系统（MEMS）工频电场传感器系统开展了高压架空输电线下电场测量应用研究。为了获得电场分布规律,基于模拟电荷法,建立了输电导线的二维电场计算通用模型。传感器系统核心敏感芯片基于电荷感应原理,采用MEMS技术加工制作。在0-1 000 kV/m工频电场范围内,传感器系统的总不确定度为1.53%,分辨力达到了20 V/m。仿真与测试结果表明：35 kV与10 kV输电线下的电场计算结果与传感器系统的测量结果偏差分别为6%和10%,并与传统的Narda EFA—300电磁场分析仪测量结果具
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