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<正>一微电子技术发展现状及趋势随着集成电路集成度的不断提高,电路的线宽越来越细。从第一个晶体管问世算起,半导体技术的发展已有多半个世纪了,现在它仍保持着强劲的发展态势,继续遵循Moore定律,即芯片集成度18个月翻一番.每三年器件尺寸缩小0.7倍的速度在发展。特别是二十世纪九十年代末以来,集成电路制作技术的竞