【摘 要】
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介绍了一种盲孔填孔电镀铜复合光亮剂，该光亮剂由抑制剂C（乙二醇与丙二醇的共聚物）、光亮剂B（M,N-二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠）和整平剂L（含氮杂环混合物）组成。先采用CVS（循环伏安剥
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介绍了一种盲孔填孔电镀铜复合光亮剂，该光亮剂由抑制剂C（乙二醇与丙二醇的共聚物）、光亮剂B（M,N-二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠）和整平剂L（含氮杂环混合物）组成。先采用CVS（循环伏安剥离）法分析各添加剂对电镀速率的影响，以确定镀液中各组分有效浓度的分析方法。再通过全因子试验研究抑制剂C、光亮剂B和整平剂L对填孔率的影响。结果表明，光亮剂B和整平剂L用量对盲孔填孔效果的影响较大，抑制剂C的影响较小。在由210g／LCuS04·5H2O、50g／L H2SO4和50mg／L氯离子组成的基础镀液中加
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