论文部分内容阅读
镁合金表面沉积薄膜可以提高其耐蚀性，但现有的几种沉积方法得到的膜疏松、与基体结合力差，影响了其耐腐蚀性能。为此，采用磁控溅射法在AZ31镁合金表面制备了Al，zr，Ti膜及其与SiNx的复合薄膜。用扫描电镜、x射线衍射、XPS研究了金属膜及其与SiNi。复合薄膜的晶体结构、表面形貌和化学成分？结果表明：所制备的SiNx薄膜为非晶态的富N膜；Zr膜的耐腐蚀性最好，Al膜的保护性最差；Zr-SiNx复合薄膜比AZ3l镁合金的腐蚀电流密度降低了3个数量级，Ti—SiNx复合薄膜在阳极极化区出现了钝化。SiNx复