【摘 要】
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采用磁过滤直流真空阴极弧沉积技术在硅片、不锈钢片基体上制备了类金刚石(DLC)膜。检测结果表明,膜中存在着微米级的大颗粒分布,膜厚为290nm,sp3键的含量为62.23%。所制备的
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采用磁过滤直流真空阴极弧沉积技术在硅片、不锈钢片基体上制备了类金刚石(DLC)膜。检测结果表明,膜中存在着微米级的大颗粒分布,膜厚为290nm,sp3键的含量为62.23%。所制备的薄膜具有典型的DLC膜Raman光谱特征,耐磨性能优良,膜与基体的结合性能良好。
Diamond-like carbon (DLC) films were prepared on a silicon substrate and a stainless steel substrate using a magnetic-filtered DC vacuum cathodic arc deposition technique. The results show that there is a micron-sized large particle distribution in the film with a film thickness of 290 nm and a sp3 bond content of 62.23%. The prepared film has typical DLC film Raman spectral characteristics, excellent abrasion resistance, and the bonding performance between the film and the substrate is good.
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