【摘 要】
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通过微波解离 Cl2 与 Ar的混合气来获得 Cl原子 ,并对 Cl2 解离率进行了测量。反应池内压力在 2 0 0～ 2 53Pa范围变化时 ,可得到较多的 Cl原子。当压力为 2 56Pa时 ,Cl2 的解
【机 构】
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通过微波解离 Cl2 与 Ar的混合气来获得 Cl原子 ,并对 Cl2 解离率进行了测量。反应池内压力在 2 0 0～ 2 53Pa范围变化时 ,可得到较多的 Cl原子。当压力为 2 56Pa时 ,Cl2 的解离率可达 8%以上。但随着反应池内压力的增加 ,Cl2 解离率反而下降 ,这可能是 Cl原子发生复合的几率增大所致。
The Cl atom was obtained by dissociating the mixture of Cl2 and Ar by microwaves and the Cl2 dissociation rate was measured. When the reaction pressure in the range of 200 ~ 253Pa changes, more Cl atoms can be obtained. When the pressure is 2 56Pa, the dissociation rate of Cl2 can reach more than 8%. However, with the increase of the pressure in the reaction cell, the dissociation rate of Cl2 decreased, which may be due to the increased probability of Cl atom recombination.
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