【摘 要】
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一、引言 薄膜电阻是薄膜电路中的重要组成元件之一,因此对其某些主要参数性能的研究有着极其重要的意义。反映薄膜电阻性能的参数有:膜电阻、电阻温度系数、电阻电压系数、
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一、引言 薄膜电阻是薄膜电路中的重要组成元件之一,因此对其某些主要参数性能的研究有着极其重要的意义。反映薄膜电阻性能的参数有:膜电阻、电阻温度系数、电阻电压系数、噪声系数、高频性能、稳定性、潮湿效应和功率密度等等。最能反映薄膜电阻特性的是电阻温度系数。
I. INTRODUCTION Film resistance is one of the important components in the thin film circuit. Therefore, it is very important to study the performance of some of its main parameters. The parameters that characterize the resistance of a thin film are: film resistance, temperature coefficient of resistance, resistance voltage coefficient, noise figure, high frequency performance, stability, dampness effect and power density and so on. Most reflect the characteristics of the film resistance is the temperature coefficient of resistance.
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