(Ti, Al, Cr)N膜系的研究进展

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【摘要】

：

总结了(Ti,Al,Cr)N膜系的沉积方法并讨论了化学成分、N2流量以及基底偏压等工艺参数对薄膜产生的影响,针对(Ti,Al,Cr)N膜系的相组成与膜层成分、抗氧化性、耐腐蚀性、显微硬

【作者】

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刘聪张钧张热寒李宁

【机构】

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辽宁省多组硬质膜研究及应用重点实验室,辽宁沈阳 110044;沈阳大学机械工程学院,辽宁沈阳 110044

【出处】

：

材料保护

【发表日期】

：

2021年3期

【关键词】

：

(Ti Al Cr)N系硬质膜抗氧化性耐腐蚀性显微硬度抗摩擦磨损性能

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总结了(Ti,Al,Cr)N膜系的沉积方法并讨论了化学成分、N2流量以及基底偏压等工艺参数对薄膜产生的影响,针对(Ti,Al,Cr)N膜系的相组成与膜层成分、抗氧化性、耐腐蚀性、显微硬度、抗摩擦磨损性能以及膜基结合力等方面进行了详细阐述.在此基础上,对(Ti,Al,Cr)N膜系的未来发展进行了展望,以期为多组元氮化物硬质膜的研究提供参考.

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