微型JT制冷机降温实验

来源 :低温工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：squllwu20090907

【摘要】

：

采用BF33硼硅玻璃结合光刻、激光刻蚀和熔融键合等工艺制成了以纯氮为工质的微型JT制冷机,外观尺寸(长×宽×厚)为60 mm×9.6 mm×1.2 mm。搭建了微型JT制冷

【作者】

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刘东立刘霄仇旻曹海山甘智华

【机构】

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西湖大学工学院浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室,浙江西湖高等研究院前沿技术研究所,清华大学能源与动力工程系,浙江大学制冷与低温研究所

【出处】

：

低温工程

【发表日期】

：

2020年3期

【关键词】

：

微型JT制冷机实验测试微纳加工低温 micro Joule-Thomson cryocoolerexperimental testmicro/nano f

【基金项目】

：

国家自然科学基金(No.51806199,No.61927820)

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采用BF33硼硅玻璃结合光刻、激光刻蚀和熔融键合等工艺制成了以纯氮为工质的微型JT制冷机,外观尺寸(长×宽×厚)为60 mm×9.6 mm×1.2 mm。搭建了微型JT制冷机实验系统,能够为JT制冷机提供稳定的压力工况和高纯工质,并可测得相应压力工况下的温度和工质质量流量数据。降温实验结果表明,当高压和低压分别为10.1 MPa和0.24 MPa时,微型JT制冷机能够获得94.3 K的无负荷制冷温度。制冷温度和工质质量流量保持稳定长达4小时以上。其加工工艺和实验系统

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